清洗液


刻蚀后清洗液适用于 Al/Cu 金属线、通孔、金属焊及硬掩模等制程,蚀刻残留物去除能力强、低缺陷。
抛光后清洗液适用于不同抛光工艺后的清洗,去除抛光颗粒及残留,防止表面腐蚀,降低缺陷。
高纯IPA,用于马兰戈尼方式的清洗与干燥。

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盛剑微介绍

盛剑微电子是为上海盛剑科技股份有限公司旗下成员企业, 是 一家专注于电子化学品材料研发、 生产、销售及技术服务的科技型企业。目前, 盛剑微在上海化学工业区规划年产 4 万吨电子材料研发及制 造基地,其中一期年产 1.8 万吨剥离液项目已投产; 在合肥投 资 3 亿元建设电子材料基地,预计于 2024 年三季度正式投产。

 

研发

1、研发中心位于上海,长濑技术合作+盛剑自主研发

2、团队拥有多名业内资深专业人士

3、截至23年12月,申请专利18项,其中授权11项,审查中7项

产品

1、半导体显示:光刻胶剥离液(水系/有机系)、蚀刻液 (Cu/Al/Ag)等

2、集成电路:光刻胶剥离液、清洗液(PEER/PCMP)、蚀刻液 (金属/非金属膜层)

交付

1、自建工厂:上海盛剑微2021年8月成立,22年11月投产剥离液年产能1.8万吨

                        合肥盛剑微2022年9月成立,建设中,预计24年Q3投产

2、合作工厂:西南/西北合作交付基地

 

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